特許
J-GLOBAL ID：200903057640910949

プラズマ処理装置

発明者：
松浦 廣行

松浦 廣行 について

, 
加藤 寿

加藤 寿 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-141045
公開番号（公開出願番号）：特開2004-343017
出願日： 2003年05月19日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：
【課題】ホローカソード放電の発生を抑制し、プラズマによるスパッタ等の発生も抑制することが可能なプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】被処理体Wに対してプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、真空引き可能になされた処理容器32と、複数の被処理体を保持して処理容器内へ挿脱される被処理体保持手段40と、処理容器の側壁の一部を凹部状に外側へ窪ませることにより一側が処理容器内に開口されて連通されると共に、処理容器の高さ方向に沿って設けられたプラズマ発生部68と、プラズマ発生部にその長さ方向に沿って設けられてプラズマ発生用の高周波電圧が印加されるべく対向して配置されるプラズマ電極76と、プラズマ発生部内にプラズマ化ガスを供給するプラズマガス供給手段58と、処理容器の外周に設けられる加熱手段94とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被処理体に対して所定のプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において、 真空引き可能になされた縦型の筒体状の処理容器と、 複数の前記被処理体を多段に保持して前記処理容器内へ挿脱される被処理体保持手段と、 前記処理容器の側壁の一部を凹部状に外側へ窪ませることにより一側が前記処理容器内に開口されて連通されると共に、前記処理容器の高さ方向に沿って設けられたプラズマ発生部と、 前記プラズマ発生部に、その長さ方向に沿って設けられてプラズマ発生用の高周波電圧が印加されるべく対向して配置されるプラズマ電極と、 前記プラズマ発生部内にプラズマ化されるプラズマ化ガスを供給するプラズマガス供給手段と、 前記処理容器の外周に設けられる加熱手段と、 を備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。
IPC (6件)：
H01L21/31 ,  B01J19/08 ,  C23C16/505 ,  C23F4/00 ,  H01L21/3065 ,  H05H1/46
FI (6件)：
H01L21/31 C ,  B01J19/08 E ,  C23C16/505 ,  C23F4/00 A ,  H05H1/46 M ,  H01L21/302 101F
Fターム (75件)：
4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA47 ,  4G075CA62 ,  4G075DA02 ,  4G075EA06 ,  4G075EB01 ,  4G075EC01 ,  4G075EC21 ,  4G075FA01 ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA40 ,  4K030CA04 ,  4K030DA06 ,  4K030EA00 ,  4K030FA01 ,  4K030KA30 ,  4K030LA15 ,  4K057DA01 ,  4K057DA16 ,  4K057DB06 ,  4K057DD01 ,  4K057DE06 ,  4K057DE20 ,  4K057DM02 ,  4K057DM06 ,  4K057DM16 ,  4K057DM36 ,  4K057DM37 ,  4K057DM38 ,  4K057DM39 ,  4K057DN01 ,  5F004AA14 ,  5F004AA16 ,  5F004BA03 ,  5F004BA20 ,  5F004BB11 ,  5F004BB13 ,  5F004BB16 ,  5F004BB24 ,  5F004BB28 ,  5F004BC01 ,  5F004BD01 ,  5F004BD03 ,  5F004BD04 ,  5F004DA17 ,  5F004DB03 ,  5F004EA34 ,  5F045AA08 ,  5F045AB33 ,  5F045AC05 ,  5F045AC12 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AD10 ,  5F045AE23 ,  5F045DP19 ,  5F045DP28 ,  5F045EB06 ,  5F045EB12 ,  5F045EE14 ,  5F045EE19 ,  5F045EE20 ,  5F045EF03 ,  5F045EF08 ,  5F045EH12 ,  5F045EH18 ,  5F045EK06
引用特許：
審査官引用 (7件)
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