特許
J-GLOBAL ID：200903057651583478
プローブ走査機構、および、それを用いた走査型プローブ顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴江 武彦
, 河野 哲
, 村松 貞男
, 風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-285012
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012466
出願日： 2003年08月01日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】プローブを高速で走査できるプローブ走査機構を提供する。【解決手段】カンチレバー12はホルダー14により移動体16に取り付けられる。移動体16には三枚のサファイア板18が互いに直交して設けられている。三本のピエゾアクチュエーター30X、30Z(図4では二本だけが見える)は、互いに直交する方向に変位可能で、一端にはサファイア板22が取り付けられている。サファイア板22はルビー球20を間に挟んでサファイア板18に対向している。サファイア板18と22の中央部には引き合う極性の磁石が設けられている。移動体16には、カンチレバー12の上方の位置に、二枚の三角プリズムを向きを90°変えてZ方向に重ねて配置した構成の屈折プリズム44が固定されている。光ビームを射出するレーザー発振器40、四分割された受光領域を備えた光センサー48が所定の位置に配置されている。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
走査型プローブ顕微鏡用のプローブ走査機構であって、探針を有するレバー部と、前記レバー部を保持するレバー保持部を備えた移動部材と、前記移動部材を第一の軸方向に移動させる第一の駆動部と、第一の軸に直交する第二の軸方向に前記移動部材を移動させる第二の駆動部と、前記レバー部に光を射出する光源と、前記レバー部で反射された光を受光する光センサーと、前記移動部材に取り付けられ、走査中に前記光が前記レバー部の同じ位置に入射させる光学素子とを有しており、移動部材の第1の軸方向と第2の軸方向の移動が独立であることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡のプローブ走査機構。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (1件)
審査官引用 (2件)
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走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-302859
出願人：オリンパス光学工業株式会社
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微動駆動担体
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-274076
出願人：キヤノン株式会社
引用文献：
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