特許
J-GLOBAL ID：200903057665519462
レジスト塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-019519
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211623
出願日： 1995年02月07日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】レジスト溶液の成分蒸発を防止して常に均一なレジスト膜を形成する。【構成】受け皿5の貯留したレジスト溶液に周面の一部を没設して回転するロールバー3と、前記受け皿に取付けて前記ロールバーを回転可能に保持するロールバー保持部材6と、前記ロールバーに上方から対接して押圧するニップローラの間にガラス基板を所定の速度で搬送しながら前記ガラス基板の下面に前記ロールバーで汲み上げたレジスト溶液を接触させると共に、余剰のレジスト溶液を掻き取ることにより、所望の厚さのレジスト膜を形成するレジスト塗布装置において、前記受け皿のレジスト溶液の液面を覆って当該レジスト溶液の構成成分の蒸発を防ぐ閉止部材5a,5bを備えた。
請求項（抜粋）：
レジストの溶液を貯留する受け皿と、少なくとも周面の一部を前記レジスト溶液に没設して回転するロールバーと、前記受け皿に取付けて前記ロールバーを回転可能に保持するロールバー保持部材と、前記ロールバーに上方から対接して押圧するニップローラの間にガラス基板を所定の速度で搬送しながら前記ガラス基板の下面に前記ロールバーで汲み上げたレジスト溶液を接触させると共に、余剰のレジスト溶液を掻き取ることにより、所望の厚さのレジスト膜を形成するレジスト塗布装置において、前記受け皿に貯留するレジスト溶液の液面を覆って当該レジスト溶液の構成成分の蒸発を防ぐ閉止部材を備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。
IPC (4件)：
G03F 7/16 501
, B05C 1/02 102
, B05C 11/00
, H01L 21/027
