特許

J-GLOBAL ID：200903057665917271

プローブカード

発明者： 東郷 実
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-387583
公開番号（公開出願番号）：特開2002-190506
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】ノイズの影響を受けにくく、また、電子回路装置の電気的特性の測定に必要な回路を構成するための電子部品を電子回路装置の近傍に配置しやすい構造のプローブカードを提供する。【解決手段】基板2と、電気的特性を測定すべき電子回路装置としての半導体チップCの外部接続端子Pdに接触可能に基板2の表面に配列された導電性を有する複数のプローブピン5と、プローブピン5を間に挟んで基板2の表面に設けられ、基準電位に接続された導電板3とを有する。

請求項（抜粋）：

基板と、電気的特性を測定すべき電子回路装置の外部接続端子に接触可能に前記基板表面に配列された導電性を有する複数のプローブピンと、前記プローブピンを間に挟んで前記基板表面に設けられ、基準電位に接続された導電板とを有するプローブカード。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01R 1/067 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  G01R 1/067 D ,  G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J

Fターム (17件)：

2G003AA10 ,  2G003AG04 ,  2G003AG08 ,  2G003AG20 ,  2G003AH05 ,  2G003AH09 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB06 ,  2G011AC11 ,  2G011AC33 ,  2G011AE03 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11