特許

J-GLOBAL ID：200903057670565740

微小真空容器及びその製造方法

発明者： 景山 恭行 ,  土屋 智由 ,  船橋 博文 ,  坂田 二郎
出願人/特許権者： 株式会社豊田中央研究所
代理人 (1件)： 布施 行夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-306360
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124470
出願日： 1998年10月13日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 高真空度を実現できる微小真空容器を提供すること。【解決手段】 微小真空容器17は、空間部15を密閉するTi膜21を備える。Ti膜21は、空間部15に残留しているH2O及びO2を吸着する機能を有する。よって、真空密閉後、たとえ空間部15にH2O、O2が残留していても、Ti膜21がH2O、O2を吸着する。したがって、真空度が高い微小真空容器17となる。

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板上に形成され、空間部を規定する空間部規定部材と、前記空間部規定部材は、外部と前記空間部とをつなぐ開口部を有し、さらに前記空間部に残留しているH2O又はO2の少なくとも一方を吸着する機能を有し、かつ前記開口部に形成されることにより、前記空間部を密閉する蓋部材を備えた微小真空容器。

IPC (5件)：

H01L 29/84 ,  F16J 13/00 ,  G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14 ,  H01L 21/306

FI (5件)：

H01L 29/84 Z ,  F16J 13/00 ,  G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14 ,  H01L 21/306 D

Fターム (22件)：

2F055AA40 ,  2F055BB01 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF43 ,  2F055GG01 ,  2F055GG15 ,  3J046AA14 ,  3J046BD08 ,  3J046CA01 ,  3J046DA03 ,  3J046EA02 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112BA07 ,  4M112FA11 ,  4M112GA01 ,  5F043AA31 ,  5F043BB22 ,  5F043FF10 ,  5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-266663
  
• 特開平4-266663