特許

J-GLOBAL ID：200903057677283740

水晶振動子の製造方法

発明者： 中村 敬彦 ,  木村 文雄 ,  荒武 潔
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361705
公開番号（公開出願番号）：特開2001-177362
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【目的】 アウトガスによるインピーダンスの増加を防止した水晶振動子を得られるようにすること。【構成】 水晶振動子片12に一体形成された外枠11の表面金属膜13、14を凹部21を有する蓋20と凹部31を有するケース30と陽極接合する。

請求項（抜粋）：

外枠と一体に形成された水晶振動子片を基板に形成する工程と、前記基板の上面に第一の金属膜を、前記基板の下面に第二の金属膜を形成する工程と、前記水晶振動子片と外部電極を電気的に接続するために設けられたスルーホールと前記水晶振動子片と向かい合う面に形成された凹部とを有するケースと、前記基板とを前記第二の金属膜を介して接合すると同時に、前記水晶振動子片と向かい合う面に凹部を有する蓋と前記基板とを前記第一の金属膜を介して接合する工程と、前記ケースと前記基板と前記蓋が接合されたものを前記外枠を切断することによって水晶振動子を形成する工程と、を備えることを特徴とする水晶振動子の製造方法。

IPC (4件)：

H03H 3/02 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19

FI (4件)：

H03H 3/02 B ,  H03H 3/04 B ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/22 Z

Fターム (19件)：

5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108EE17 ,  5J108GG03 ,  5J108GG07 ,  5J108GG16 ,  5J108GG17 ,  5J108KK02 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02 ,  5J108MM14 ,  5J108NA03 ,  5J108NB06