特許

J-GLOBAL ID：200903057684085791

誘電体層の形成方法

発明者： 岡 毅 ,  津島 宏 ,  渡辺 英美 ,  吉松 早織
出願人/特許権者： 日本ペイント株式会社
代理人 (2件)： 目次 誠 ,  宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-248795
公開番号（公開出願番号）：特開2004-087931
出願日： 2002年08月28日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：

【課題】基板1上に設けたポリシラン膜からなる感光層2に、コンデンサ等として用いることができる誘電体層5を簡易にかつ精度良く形成する。【解決手段】有機溶剤に可溶なポリシラン、シリコーン化合物、及び有機溶剤を含む感光性樹脂組成物を、基板1上に塗布して感光層2を形成し、感光層2の誘電体層5に対応する領域を露光し、露光部2aを形成し、感光層2に誘電体分散液を接触させ、露光部2aに誘電体を吸着させて誘電体層5を形成することを特徴としている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

誘電体層を基板上に形成する方法であって、 有機溶剤に可溶なポリシラン、シリコーン化合物、及び有機溶剤を含む感光性樹脂組成物を、基板上に塗布して感光層を形成する工程と、 前記感光層の誘電体層に対応する領域を露光し、露光部を形成する工程と、 前記感光層に誘電体分散液を接触させ、前記露光部に誘電体を吸着させて誘電体層を形成する工程とを備えることを特徴とする誘電体層の形成方法。

IPC (4件)：

H01G4/33 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/40

FI (4件)：

H01G4/06 102 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/075 521 ,  G03F7/40 521

Fターム (34件)：

2H025AA02 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025CB32 ,  2H025CC20 ,  2H025FA12 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096EA02 ,  2H096FA05 ,  2H096GA60 ,  4E351AA07 ,  4E351AA13 ,  4E351AA14 ,  4E351BB03 ,  4E351BB29 ,  4E351BB31 ,  4E351CC11 ,  4E351DD43 ,  4E351DD44 ,  4E351GG07 ,  4E351GG20 ,  5E082AB03 ,  5E082BB07 ,  5E082BC38 ,  5E082BC39 ,  5E082EE05 ,  5E082EE37 ,  5E082FG06 ,  5E082LL02 ,  5E082MM04 ,  5E082MM06