特許

J-GLOBAL ID：200903057686105323

落射照明光学系

発明者： 須藤 武司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-013289
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197800
出願日： 1997年01月09日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 物体照明に使用されない不要光を低減、除去し、低反射試料を観察した場合でも、フレアーの少ない高コントラストな観察を行うことが出来る。【解決手段】 落射照明光学系において、光源Sからの照明光のうち、光分割手段HMで分割されて被照射面(試料面)へ導かれない不要光を減衰させるために、不要光を光分割手段HMとは異なる部位へ向けて反射する低反射部材K1を不要光の光路中に配置し、前記低反射部材は、前記低反射部材を通過する光を減衰させることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

光源からの照明光を光分割手段を介して被照射面へ導き、前記被照射面からの光を前記光分割手段を介して所定の像面へ導く落射照明光学系において、前記光源からの照明光のうち、前記光分割手段で分割されて前記被照射面へ導かれない不要光を減衰させるために、前記不要光を前記光分割手段とは異なる部位へ向けて反射する低反射部材を前記不要光の光路中に配置し、前記低反射部材は、前記低反射部材を通過する光を減衰させることを特徴とする落射照明光学系。