特許
J-GLOBAL ID：200903057687656811
液晶表示装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-068351
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262492
出願日： 1995年03月27日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 フォトリソグラフィ工程を増やすことなく、ソース電極およびドレイン電極の抵抗が低い液晶表示装置を提供する。【構成】 ガラス基板1上にゲート電極2、ゲート絶縁膜3を順次形成する。ゲート絶縁膜3のゲート電極2の上方に、半導体層4、チャネル保護膜5を形成し、チャネル保護膜5の両側に低抵抗半導体層6,7を形成する。ゲート絶縁膜3および低抵抗半導体層6,7上に、直径0.5〜5μmの微細孔21を有するITOの透光性導電膜8を形成する。透光性導電膜8は、ゲート絶縁膜3上の画素電極8aと、低抵抗半導体層6上のソース電極8bと、低抵抗半導体層7上のドレイン電極8cを有する。ソース電極8b上に導電膜ソース電極9を形成し、ドレイン電極8c上に導電膜ドレイン電極10を形成し、導電膜ソース電極9および導電膜ドレイン電極10をそれぞれ低抵抗半導体層6,7と導電体22にて直接接続する。
請求項（抜粋）：
透明絶縁基板と、この透明絶縁基板上のゲート電極と、このゲート電極を被覆するゲート絶縁膜と、このゲート絶縁膜上方に形成された半導体層と、この半導体層上のチャネル保護層と、透光性導電膜にて形成されこのチャネル保護層を挟んでそれぞれ前記半導体層と接続するドレイン電極および画素電極と一体のソース電極と、これらドレイン電極およびソース電極の形成領域に形成された導電膜とを有する液晶表示装置において、前記透光性導電膜は、微細孔を有することを特徴とする液晶表示装置。
IPC (4件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/786
, H01L 21/336
G02F 1/136 500
, G02F 1/1343
, H01L 29/78 616 L
