特許

J-GLOBAL ID：200903057688308787

バーコードリーダ付半導体製造装置

発明者： 足立 禎 ,  東 正幸 ,  金子 貴幸
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103520
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299288
出願日： 2001年04月02日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】稼働率の低下を来たさずに、処理されるウエーハの品種番号その他の品種情報を自動的にアップデイトできる半導体製造装置を提供すること。【解決手段】多数枚のウエーハが収納されたカセットを格納するカセット格納部の所定の位置に、カセットに付された品種情報を表すバーコード読取り用のバーコードリーダを設けた。

請求項（抜粋）：

半導体デバイスを製造する過程で用いられる半導体製造装置において、半導体ウエーハを載置する載置テーブル及び該ウエーハを処理する処理手段を備えた処理部と、多数枚のウエーハが収納されたカセットを格納するカセット格納部と、前記カセット格納部と前記載置テーブルとの間でウエーハを搬送する搬送手段とを有し、前記カセット格納部の所定の位置に、前記カセットに設けられたバーコードを読取るバーコードリーダが設けられていることを特徴とする半導体製造装置。

IPC (5件)：

H01L 21/301 ,  B65G 1/00 537 ,  B65G 1/137 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 1/00 537 Z ,  B65G 1/137 F ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/68 T ,  H01L 21/78 N

Fターム (37件)：

3F022AA08 ,  3F022EE05 ,  3F022FF10 ,  3F022JJ20 ,  3F022KK11 ,  3F022KK18 ,  3F022MM07 ,  3F022MM11 ,  3F022MM59 ,  3F022PP00 ,  3F022QQ11 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031EA16 ,  5F031GA16 ,  5F031GA20 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA12 ,  5F031HA57 ,  5F031HA59 ,  5F031HA78 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA33 ,  5F031JA49 ,  5F031LA08 ,  5F031LA09 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031LA15 ,  5F031MA15 ,  5F031MA34 ,  5F031PA08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ウェハカセット監視装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-176839   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• ダイシング装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-355012   出願人：株式会社東京精密