特許
J-GLOBAL ID:200903057688566662
パターニングされた基板上の成長による水平放出、垂直放出、ビーム形成された、分布帰還型(DFB)レーザ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山本 秀策
, 安村 高明
, 森下 夏樹
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-558026
公開番号(公開出願番号):特表2008-538255
出願日: 2006年02月09日
公開日(公表日): 2008年10月16日
要約:
集積光学素子を用いた構造は、基板と、基板上に成長されたバッファ層と、バッファ層に堆積された1つ以上のパターニングされた層と、パターニングされた層の上またはパターニングされた層の間に形成された1つ以上のアクティブ層とを備えており、例えば横方向エピタキシャル成長(LEO)によるものであり、1つ以上の発光種を含んでいる。パターニングされた層は、マスク(絶縁性材料、半導性材料、または金属材料から構成されている)と、マスク内のホールを充填する材料とを含んでいる。パターニングされた層は、アクティブ層との大きな屈折率の差、および/またはマスクとマスク内のホールを充填する材料との間の屈折率の変化に起因して、光閉じ込め層、ミラー、回折格子、波長選択要素、ビーム形成要素、またはビーム配向要素として機能する。
請求項(抜粋):
集積光学素子を用いた構造であって、
(a)基板と、
(b)該基板上に成長されたバッファ層と、
(c)該バッファ層の上部に堆積された1つ以上のパターニングされた層であって、該パターニングされた層の各々は、マスクおよび該マスク内のホールを充填する材料から構成されている、パターニングされた層と、
(d)該パターニングされた層の上または該パターニングされた層の間に形成された1つ以上のアクティブ層と
を備えており、
(e)各パターニングされた層は、該アクティブ層に対し、ミラー、光閉じ込め層、格子、波長選択要素、ビーム形成要素、またはビーム配向要素として機能する、構造。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
5F173AB03
, 5F173AB13
, 5F173AB27
, 5F173AB46
, 5F173AB47
, 5F173AB90
, 5F173AG12
, 5F173AH22
, 5F173AP47
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