特許
J-GLOBAL ID：200903057693604980
電界電子放出素子及びその製造方法並びに電界電子放出型ディスプレイ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-093669
公開番号（公開出願番号）：特開平10-289650
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：
【要約】【課題】簡単な構造でゲート電極とカソード電極の電子放出部との間の距離を正確に制御できる電界電子放出素子を提供する。【解決手段】カソード電極2とゲート電極4を絶縁層3を介して積層し、ゲート電極4の開口7、絶縁層3の貫通孔8及びカソード電極2の孔9をエッチングにより連続的に形成する。絶縁層3のサイドエッチにより露出したカソード電極2の孔9のほぼ直角のエッジ部分から電子を放出させる。必要に応じ、カソード電極2の下側に絶縁層17を介して第2ゲート電極16を設け、電子放出効率を向上させる。
請求項（抜粋）：
第1の電極と第2の電極が絶縁層を介して互いに積層され、前記第1の電極に開口が形成され、前記第2の電極において前記開口と整合する位置に、前記開口に対応した平面形状を有する穴が設けられ、前記穴の上縁部が、断面形状において、80〜100°の範囲のエッジ角度を有しており、前記絶縁層に、前記開口及び前記穴と連続する貫通孔が設けられ、前記貫通孔内に前記穴の前記上縁部の少なくとも一部が露出し、前記第1及び第2の電極間に所定の電圧を印加することにより、前記貫通孔内に露出した前記穴の前記上縁部を通じて前記第2の電極から電子を放出させる、電界電子放出素子。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 F
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
