特許
J-GLOBAL ID：200903057696275049
基準マーク位置測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-147655
公開番号（公開出願番号）：特開2004-348045
出願日： 2003年05月26日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：
【課題】基準マーク位置測定装置において、基板の基準マーク位置の測定精度を低下させることなく、上記基準マークの測定を開始してから基板を次工程の実施位置に移送するまでの時間を短縮する。【解決手段】搬送部20により基板載置台15を搬送方向(図中矢印Y方向)に搬送しつつ、斜走査部35によりカメラ30を斜走査方向(図中矢印J方向)に移動させながら基板10の基準マーク11の横断方向(図中矢印X方向)における位置をカメラ30を通して測定して基準マーク11の横断方向の位置を示す位置データを位置データ取得部40によって取得する。その後、上記と同様の動作により、基準スケール25の目盛26の横断方向の位置を示す基準位置データを基準位置データ取得部45によって取得し、上記基準位置データに基づいて、上記基準マークの位置データを基準スケールの目盛を基準にした位置データに補正する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基準マークを有する基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台を所定の搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記基板載置台に配置された、前記搬送方向と直交する横断方向における位置を示す目盛を有する基準スケールと、
前記基準マークおよび前記目盛の前記横断方向における位置を測定するためのカメラと、
該カメラを、前記搬送方向に対して斜めに交わる該搬送方向に向かう斜走査方向に移動させる斜走査手段と、
前記搬送手段により前記基板載置台を前記搬送方向に搬送しつつ、前記斜走査手段により前記カメラを前記斜走査方向に移動させながら前記基板の基準マークの前記横断方向における位置を該カメラで測定して該基準マークの前記横断方向における位置を示す位置データを取得する位置データ取得手段と、
前記搬送手段により前記基板載置台を前記搬送方向に搬送しつつ、前記斜走査手段により前記カメラを前記斜走査方向に移動させながら前記基準スケールの目盛の前記横断方向における位置を該カメラで測定して該目盛の前記横断方向における位置を示す基準位置データを取得する基準位置データ取得手段と、
前記基準位置データに基づいて、前記基準マークの位置データを前記基準スケールの目盛を基準にした位置データに補正する位置補正手段とを備えていることを特徴とする基準マーク位置測定装置。
IPC (3件)：
G03F9/00
, G03F7/20
, H05K3/00
G03F9/00 A
, G03F7/20 505
, H05K3/00 H
2H097AA03
, 2H097CA17
, 2H097DB07
, 2H097KA03
, 2H097KA13
, 2H097LA09
