特許

J-GLOBAL ID：200903057697918458

プラスチック基板の成膜方法

発明者： 田尻 洋子 ,  笹川 勝好 ,  川崎 登
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-092910
公開番号（公開出願番号）：特開2001-279011
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月10日
要約：

【要約】【解決手段】 プラスチック基板上に、該基板と熱膨張係数の異なる薄膜を成膜する方法において、成膜後常温で平坦になるような曲率に基板を曲げて成膜することを特徴とする、プラスチック基板の成膜方法。【効果】 プラスチック基板上に無機膜等を成膜する際に、成膜応力からくる反り、クラック等の発生をおさえることができる。

請求項（抜粋）：

プラスチック基板上に、該基板と熱膨張係数の異なる薄膜を成膜する方法において、成膜後常温で平坦になるような曲率に基板を曲げて成膜することを特徴とする、プラスチック基板の成膜方法。

IPC (4件)：

C08J 7/06 ,  B32B 9/00 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1333 500

FI (4件)：

C08J 7/06 B ,  B32B 9/00 A ,  C23C 14/08 K ,  G02F 1/1333 500

Fターム (43件)：

2H090JB03 ,  2H090JC07 ,  2H090LA01 ,  4F006AA22 ,  4F006AA35 ,  4F006AA36 ,  4F006AB74 ,  4F006BA07 ,  4F006CA08 ,  4F006DA01 ,  4F006EA01 ,  4F100AA00C ,  4F100AA17B ,  4F100AA20B ,  4F100AA33 ,  4F100AK01A ,  4F100AK12A ,  4F100AK25A ,  4F100AK51 ,  4F100AL01A ,  4F100AL06 ,  4F100AT00A ,  4F100BA03 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10B ,  4F100EH31 ,  4F100EH66 ,  4F100GB41 ,  4F100JB01 ,  4F100JD02C ,  4F100JG01B ,  4F100JL04 ,  4F100JL11 ,  4F100JM02B ,  4F100JN01B ,  4K029AA11 ,  4K029BA45 ,  4K029BA48 ,  4K029BC09 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029FA07 ,  4K029JA01