特許
J-GLOBAL ID：200903057705108401
マスフローコントローラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193710
公開番号（公開出願番号）：特開平9-044254
出願日： 1995年07月28日
公開日（公表日）： 1997年02月14日
要約：
【要約】【課題】ガス元側で圧力の変化が生じた場合、流れ出るガス流量の精度がばらつく。【解決手段】1本のガスラインがバイパスライン1とセンサーライン2とに分岐するマスフローコントローラにおいて、分岐点前のガスラインにバリアブルオリフィス10を設ける。
請求項（抜粋）：
1本のガスラインを分岐させてなるセンサーライン及びバイパスラインを備えたマスフローコントローラーにおいて、外部制御により総流量をコントロールする為に分岐点前の前記ガスラインのオリフィス径を変化させる弁機構を設けたことを特徴とするマスフローコントローラー。
引用特許：
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