特許

J-GLOBAL ID：200903057712177656

平坦度測定方法、平坦度測定装置、厚さムラ測定方法及び厚さムラ測定装置

発明者： 児玉 賢一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-221959
公開番号（公開出願番号）：特開2004-061378
出願日： 2002年07月30日
公開日（公表日）： 2004年02月26日
要約：

【課題】被測定対象物が大きくなっても、測定光学系が大型化することを回避する。【解決手段】物体表面の平坦度を測定する方法であって、測定対象面と略平行に基準平面鏡を配置し、前記測定対象面と前記基準平面鏡との間に、前記測定対象面と前記基準平面鏡との間隔変化を干渉測定法に基づき一次元的に測定する光学ユニットを配設し、前記測定対象面と前記基準平面鏡に対し、前記光学ユニットを相対的に移動させて、前記測定対象面の形状を2次元的に測定するプロセスを有することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

物体表面の平坦度を測定する方法であって、測定対象面と略平行に基準平面鏡を配置し、前記測定対象面と前記基準平面鏡との間に、前記測定対象面と前記基準平面鏡との間隔変化を干渉測定法に基づき一次元的に測定する光学ユニットを配設し、前記測定対象面と前記基準平面鏡に対し、前記光学ユニットを相対的に移動させて、前記測定対象面の形状を2次元的に測定するプロセスを有することを特徴とする平坦度測定方法。

IPC (3件)：

G01B11/30 ,  G01B11/06 ,  G01B11/14

FI (3件)：

G01B11/30 101A ,  G01B11/06 G ,  G01B11/14 G

Fターム (29件)：

2F065AA30 ,  2F065AA47 ,  2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065DD11 ,  2F065FF49 ,  2F065FF51 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH08 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL33 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065MM03 ,  2F065MM07 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28