特許
J-GLOBAL ID：200903057713894963
レーザ装置の出力自動制御装置及びそれを備えた高調波発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-286836
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142804
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】出力光の直流成分と交流成分の比(相対雑音強度RIN)が最小になるよう制御する。【構成】第2高調波の一部がフィルタ109を透過しフォトダイオード110に入射し、I-V変換器111で電圧に変換されコンデンサ112で直流と交流成分に分けられ、8〜20MHz帯域の交流成分がバンドパスフィルタ113を通りその出力振幅が検波回路114で測定され、コンピュータ115によりRINが最小になるよう制御する。
請求項（抜粋）：
レーザ装置の出力光の一部分を検出する光検出器と、前記光検出器の出力の直流成分と交流成分を分離するAC/DC分離手段と、交流成分のうち所定の周波数範囲のみを通過させるバンドパスフィルタと、前記バンドパスフィルタの出力の振幅を検波する検波回路と、前記直流成分に対する前記所定の周波数範囲の交流成分の比が最小になるようにレーザ装置の発振部を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするレーザ装置の出力自動制御装置。
IPC (3件)：
H01S 3/109
, G02F 1/37
, H01S 3/18
