特許

J-GLOBAL ID：200903057715165802

光記録媒体およびその製造方法

発明者： 浅野 睦己 ,  河原 祐路
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038927
公開番号（公開出願番号）：特開2000-242984
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 微小ピッチにおいても優れた記録再生特性を有する光記録媒体を提供する。【解決手段】 基板上に形成された連続溝のピッチPを300〜450nm 、溝の深さDを40nm以上、溝の半値幅をWとしたとき、 W/Pが0.5以下である光記録媒体であり、このような光記録媒体は、露光・現像して得られるフォトレジストパターン上に、SiO2、Si3N4やAl2O3等の誘電体薄膜を形成し、電鋳により金属スタンパを形成後に、該薄膜を除去する工程を経て製造されたスタンパを用いることにより得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された連続溝のピッチP、溝の半値幅W、溝の深さDが以下の関係で示されることを特徴とする光記録媒体。P:300nm以上450nm以下W/P:0.5以下D:40nm以上

IPC (4件)：

G11B 11/10 511 ,  G11B 11/10 541 ,  G11B 7/24 561 ,  G11B 7/26 511

FI (4件)：

G11B 11/10 511 C ,  G11B 11/10 541 D ,  G11B 7/24 561 M ,  G11B 7/26 511

Fターム (19件)：

5D029WB03 ,  5D029WB14 ,  5D029WB17 ,  5D029WC01 ,  5D029WC10 ,  5D029WD10 ,  5D029WD11 ,  5D029WD12 ,  5D075EE03 ,  5D075FG18 ,  5D075GG07 ,  5D075GG14 ,  5D075GG16 ,  5D121AA02 ,  5D121BB06 ,  5D121CB07 ,  5D121CB08 ,  5D121GG04 ,  5D121GG22