特許
J-GLOBAL ID:200903057733516167

高耐圧半導体素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-085569
公開番号(公開出願番号):特開平8-288524
出願日: 1995年04月11日
公開日(公表日): 1996年11月01日
要約:
【要約】【目的】高耐圧ダイオードの耐圧の経時劣化を防止すること【構成】アノード電極10の端部下のn型カソード層1の表面に接触し、かつ熱酸化膜9、CVD酸化膜12によりアノード電極10と絶縁された高抵抗半導体膜8を設ける。
請求項(抜粋):
高抵抗の第1導電型半導体層と、この第1導電型半導体層の表面に選択的に形成された第2導電型半導体層と、この第2導電型半導体層の表面に接触するとともに、その端部が前記第2導電型半導体層の端部を越えて前記第1導電型半導体層上にまで延在し、絶縁膜により前記第1導電型半導体層と絶縁された第1の主電極と、前記第1の主電極の端部下の前記第1導電型半導体層の表面に接触するとともに、前記絶縁膜により前記第1の主電極と絶縁された高抵抗半導体膜と、前記第1導電型半導体層に設けられた第2の主電極とを具備してなることを特徴とする高耐圧半導体素子。
IPC (2件):
H01L 29/861 ,  H01L 29/78
FI (3件):
H01L 29/91 D ,  H01L 29/78 652 P ,  H01L 29/91 L
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平1-231367
  • 特開昭50-079275
  • 特開平4-014266
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