特許
J-GLOBAL ID：200903057735448479
ダミーウエハ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111636
公開番号（公開出願番号）：特開平11-307464
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：
【要約】【課題】 拡散炉や縦型炉において製品ウエハの処理性状を安定化するために用いるダミーウエハとして、耐酸化性や耐蝕性に優れパーティクル発生も少なく長期に亘って安定に使用できるダミーウエハを提供する。【解決手段】 ガラス状カーボン組織中に0.1〜30重量%のSiが原子レベルで均一に分散複合した組織構造からなり、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 の値が0.340〜0.380nmの範囲にあるSi含有ガラス状カーボン材から形成したダミーウエハ。拡散炉や縦型炉の成膜工程に用いるダミーウエハとして有用である。
請求項（抜粋）：
ガラス状カーボン組織中に0.1〜30重量%のSiが原子レベルで均一に分散複合した組織構造からなり、黒鉛六角網面層の平均格子面間隔d002 の値が0.340〜0.380nmの範囲にあるSi含有ガラス状カーボン材から形成されたことを特徴とするダミーウエハ。
IPC (2件)：
H01L 21/22 511
, H01L 21/02
H01L 21/22 511 M
, H01L 21/02 B
