特許

J-GLOBAL ID：200903057745574081

半導体ウェーハ保持用アダプタに装填されたウェーハの異常検出方法及び検出装置

発明者： 中澤 真
出願人/特許権者： 日新ハイボルテージ株式会社
代理人 (1件)： 松本 英俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-129201
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323555
出願日： 1999年05月10日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】アダプタに装填された半導体ウェーハが傾いているなどのウェーハの異常を検出することができるようにした半導体ウェーハの異常検出方法を提供する。【解決手段】アダプタ1に装填された半導体ウェーハ2の外周寄りの部分との間の距離を測定する距離測定器21をアダプタの上方の定位置に配置しておき、アダプタ1を回転させながら距離測定器21により半導体ウェーハの外周寄りの部分との間の距離を測定して、測定した距離が予め設定した判定値以下になったときに半導体ウェーハの傾きが許容範囲を超えていると判定する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェーハ保持用アダプタに設けられた保持面上に載置された状態で該アダプタに装填された半導体ウェーハの異常を検出する異常検出方法であって、前記アダプタに装填された半導体ウェーハの外周寄りの部分との間の距離を測定する距離測定器を前記アダプタの上方の定位置に配置しておき、前記アダプタを回転させながら前記距離測定器により前記半導体ウェーハの外周寄りの部分との間の距離を測定して、測定した距離が予め設定した許容範囲から外れたときに前記半導体ウェーハに異常があると判定することを特徴とする半導体ウェーハ保持用アダプタに装填されたウェーハの異常検出方法。

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 F

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031FA11 ,  5F031FA14 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA24 ,  5F031JA06 ,  5F031JA15 ,  5F031JA27 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA33 ,  5F031MA31