特許
J-GLOBAL ID：200903057748423009
感光性ポリイミド前駆体組成物及びそれを用いたパターン製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195944
公開番号（公開出願番号）：特開平11-038619
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 感光特性に優れ、貯蔵安定性、プロセス安定性に優れ、硬化膜特性にも優れる感光性ポリイミド前駆体組成物及びこれを用いたパターン製造法を提供する。【解決手段】 下記一般式(I)の構成単位を有してなる感光性ポリイミド前駆体、チタノセン化合物並びに下記一般式(II)のハイドロキノン化合物、下記一般式(III)のカテコール化合物及び下記一般式(IV)のベンゾキノン化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物並びにこれを用いて形成してなる被膜に、所定のパターンのマスクを介してi線を照射した後、該被膜を現像するパターン製造法。(式中、R1は4価の有機基、R2は感光性基、R3は2価の有機基を示す)例 ハイドロキノン例 カテコール例 p-ベンゾキノン
請求項（抜粋）：
一般式(I)【化1】(式中、R1は4価の有機基、R2は感光性基、R3は2価の有機基を示す)で表される構成単位を有してなる感光性ポリイミド前駆体、チタノセン化合物並びに下記一般式(II)【化2】(式中、R4、R5、R6及びR7は各々独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、フェニル基、ニトロ基、ハロゲン原子又は複素環を示す)で表されるハイドロキノン化合物、下記一般式(III)【化3】(式中、R8、R9、R10及びR11は水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、フェニル基、ニトロ基、ハロゲン原子又は複素環を示す)で表されるカテコール化合物及び下記一般式(IV)【化4】(式中、R12及びR13は、各々独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、フェニル基、ニトロ基、ハロゲン原子又は複素環を示す)で表されるベンゾキノン化合物から選択される化合物を含有してなる感光性ポリイミド前駆体組成物。
IPC (11件)：
G03F 7/038 504
, C08K 5/107
, C08K 5/56
, C08L 79/08
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/029
, G03F 7/037 501
, H01L 21/027
, H01L 21/312
, H01L 21/768
G03F 7/038 504
, C08K 5/107
, C08K 5/56
, C08L 79/08 A
, G03F 7/004 501
, G03F 7/027 502
, G03F 7/029
, G03F 7/037 501
, H01L 21/312 B
, H01L 21/30 502 R
, H01L 21/90 S
