特許
J-GLOBAL ID：200903057749017144
薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-293195
公開番号（公開出願番号）：特開2000-123318
出願日： 1998年10月15日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 基体上に形成した下部ポールの上にライトギャップ層を形成し、その上にポールチップを形成し、このポールチップの上に上部ポールを形成した誘導型薄膜磁気ヘッドにおいて、ポールチップの寸法、形状に変動を与えることなく上部ポールの先端面をエアベアリング面から正確に後退させる。【解決手段】 ポールチップ28を覆うように上部ポール34を形成した後、マスクとして作用するフォトレジスト35を、上部ポールの先端部分が露出するように形成し、ポールチップの周囲を埋める絶縁層29をエッチングストッパとする異方性エッチングを施して、上部ポールの先端面をエアベアリング面から後退させる。異方性エッチングによりポールチップに影響を与えることなく上部ポールの先端面を正確に後退できる。この先端面を傾斜させることによってエアベアリング面を研磨する際のオーバーコート層の剥がれを阻止できる。
請求項（抜粋）：
誘導型薄膜磁気ヘッドの一方のポールを構成する第1の磁性層と、この第1の磁性層の表面に設けられたライトギャップ層と、このライトギャップ層の、前記第1の磁性層とは反対側の面に沿って延在し、先端面が前記エアベアリング面に露出するように配置されたポールチップと、前記第1の磁性層の、前記ポールチップを設けた面と同じ面に、ポールチップと同一の平坦面を構成するように形成された絶縁層と、この絶縁層の、第1の磁性層とは反対側の面に、絶縁分離された状態で形成された薄膜コイルと、前記ポールチップおよび薄膜コイルの、前記第1の磁性層とは反対側の面に沿って延在して誘導型薄膜磁気ヘッドの他方のポールを構成し、前記エアベアリング面から後方に後退した先端面を有するとともにエアベアリング面とは反対側において前記第1の磁性層と磁気的に結合された第2の磁性層と、前記エアベアリング面から、前記ポールチップおよび第2の磁性層を覆うように延在するオーバーコート層と、前記各部を支持する基体と、を具え、前記第2の磁性層の先端面を、前記絶縁層をエッチングストッパとする異方性エッチングによって前記エアベアリング面から後退させたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G11B 5/31 D
, G11B 5/31 C
, G11B 5/31 K
, G11B 5/39
5D033BA07
, 5D033BA12
, 5D033BB43
, 5D033CA04
, 5D033DA02
, 5D033DA08
, 5D033DA31
, 5D034AA03
, 5D034BA03
, 5D034BA15
, 5D034BA19
, 5D034BB02
, 5D034CA01
, 5D034DA07
