特許
J-GLOBAL ID：200903057750786046

プラズマ処理装置用保護部材

発明者：
藤塚 公仁弘

藤塚 公仁弘 について


出願人/特許権者：
東海カーボン株式会社

東海カーボン株式会社 について


代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-215797
公開番号（公開出願番号）：特開2002-029843
出願日： 2000年07月17日
公開日（公表日）： 2002年01月29日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ処理装置の内壁部等を保護し、内壁部の損耗によるパーティクル発生を低減化して、長時間に亘って安定したプラズマ処理を可能とするプラズマ処理装置用保護部材を提供する。【解決手段】 ガラス状カーボン組織中に原子レベルのSiが0.5〜15wt%の量比で均一に分散複合し、かつ組織中に存在するO原子の含有量(y)wt%が、Si原子の含有量(x)wt%の±2wt%の範囲内(但し、y>0)で均一に分布する組織構造を備えたSi含有ガラス状カーボン材からなるプラズマ処理装置用保護部材。その組織構造は、実質的に黒鉛構造以外の結晶構造が存在せず、X線回折法によるパターン解析により金属Si及びSi化合物に帰属する回折線が検出されず、透過型電子顕微鏡(TEM) の観察によって粒状組織が識別できない組織性状を備えている。
請求項（抜粋）：
ガラス状カーボン組織中に原子レベルのSiが0.5〜15wt%の量比で均一に分散複合し、かつ組織中に存在するO原子の含有量(y)wt%が、Si原子の含有量(x)wt%の±2wt%の範囲内(但し、y>0)で均一に分布する組織構造を備えたSi含有ガラス状カーボン材からなることを特徴とするプラズマ処理装置用保護部材。
IPC (5件)：
C04B 35/52 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31 ,  C23C 16/44 ,  C23F 4/00
FI (5件)：
H01L 21/31 C ,  C23C 16/44 B ,  C23F 4/00 A ,  C04B 35/52 B ,  H01L 21/302 C
Fターム (29件)：
4G032AA07 ,  4G032AA42 ,  4G032BA04 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA03 ,  4K030KA08 ,  4K030KA30 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  4K057DD01 ,  4K057DM05 ,  4K057DM40 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB29 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045AC01 ,  5F045AC11 ,  5F045AC12 ,  5F045AC16 ,  5F045BB15 ,  5F045EB03 ,  5F045EC05
引用特許：
審査官引用 (5件)
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