特許
J-GLOBAL ID:200903057751567801

光学素子の位置検出方法及び駆動制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 梶原 康稔
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-032742
公開番号(公開出願番号):特開平9-203643
出願日: 1996年01月27日
公開日(公表日): 1997年08月05日
要約:
【要約】【課題】 複数相からなる検出信号における各相の交点間の直線性の高い信号部分を抽出して位置信号とする場合に、検出信号の振幅変化によって交点の値が変化しても、高精度で良好に連続する位置信号を検出する。【解決手段】 制御時点TRK nにおけるA,B相の位置信号Xa[n],Xb[n]と、制御時点TRK n-1におけるA,B相の位置信号Xa[n-1],Xb[n-1]から、交点CRS PNTの値を算出することができる。このようにして算出された交点の値を利用して、目標位置及び現在位置を補正演算することで、振動状態の発生を回避することができる。
請求項(抜粋):
位置検出素子から出力される等位相差を持った複数の相からなる正弦波状の位置信号の交点間の信号を利用して、光学素子の位置を検出する光学素子の位置検出方法において、前記光学素子を現在位置から目標位置に制御する動作中に、前記位置信号の各相の交点の値を求める交点値算出ステップ;この交点の値を利用して、前記目標位置及び現在位置を算出する演算ステップ;を備えたことを特徴とする光学素子の位置検出方法。
IPC (2件):
G01D 5/12 ,  G02B 7/08
FI (2件):
G01D 5/12 C ,  G02B 7/08 C

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