特許

J-GLOBAL ID：200903057753842648

軟磁性薄膜およびその製造方法

発明者： 小俣 雄二 ,  三舩 達雄
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-265885
公開番号（公開出願番号）：特開平5-109532
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月30日
要約：

【要約】【目的】 高Bs磁気ヘッドコア用材料としてのCo-Fe-Cr合金及び電気メッキによる製法を示す。【構成】 電気メッキ法で作製されたコバルト、鉄、クロムからなる3元合金で、各原子%でCoxFeyCrzと表わしたとき、x≧80, 19≧y>0, 9≧Z>0 である軟磁性薄膜。また、浴中の各イオン濃度の比率としてR(Co2+)=[Co2+] /[Fe2+]+[Co2+]+[Cr3+];R(Fe2+)=[Fe2+] /[Fe2+]+[Co2+]+[Cr3+];R(Cr3+)=[Cr3+] /[Fe2+]+[Co2+]+[Cr3+];と表わして 0.90 ≧R(Co2+) ≧ 0.55 ; 0.15 ≧ R(Fe2+) ≧ 0.055 ; 0.35 ≧ R(Cr3+) ≧ 0.08で直流のメッキ電流で電流密度が50mA/cm2以上を用いるか、パルスメッキ電流でメッキ電流密度が50mA/cm2以上としてカソードにCoFeCr3元合金薄膜を得る。

請求項（抜粋）：

電気メッキ法で作製された薄膜であって、コバルト、鉄、クロムからなる3元合金で、各原子%でCoxFeyCrzと表わしたとき、x≧80, 19≧y>0, 9≧Z>0 であることを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (5件)：

H01F 10/16 ,  C22C 19/07 ,  C25D 1/00 381 ,  G11B 5/31 ,  H01F 41/26