特許
J-GLOBAL ID：200903057765421788
エッチング性に優れたシャドウマスク用材料の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小倉 亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-298268
公開番号（公開出願番号）：特開平7-150232
出願日： 1993年11月29日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：
【要約】【目的】 シャドウマスク用材料として好適なFe-Ni合金を得る。【構成】 Si:0.07%以下及びB:0.001%以下のFe-Ni合金に光輝焼鈍を施す際、水素濃度50容量%以上のH2 +N2 焼鈍雰囲気を使用し、且つ焼鈍雰囲気の露点X(°C)と焼鈍温度T(°C)との間に式(1)で定義されるS値がS≦0となる関係を維持する。焼鈍された合金の表面層に濃縮するSi及びBは、それぞれ合金基材の100倍以下及び5000倍以下になる。 S=X2 +0.0055T2 +90X-10.2T+6498・・・・(1)(ただし、X=-70〜-10°C,T=850〜1000°C)【効果】 焼鈍後の合金にSi及びBの表面濃縮がないので、エッチング性及び黒化膜密着性が良好になる。
請求項（抜粋）：
Si:0.07重量%以下及びB:0.001重量%以下に規制したFe-Ni合金に光輝焼鈍を施す際、水素濃度50容量%以上のH2 +N2 焼鈍雰囲気を使用し、焼鈍雰囲気の露点X(°C)と焼鈍温度T(°C)との間に式(1)で定義されるS値がS≦0となる関係を維持し、焼鈍されたFe-Ni合金の表面層に濃縮するSi及びBをそれぞれ合金基材の100倍以下及び5000倍以下に規制することを特徴とするエッチング性に優れたシャドウマスク用材料の製造方法。 S=X2 +0.0055T2 +90X-10.2T+6498・・・・(1)(ただし、X=-70〜-10°C,T=850〜1000°C)
IPC (4件)：
C21D 1/26
, C22C 38/00 302
, C22C 38/08
, H01J 9/14
