アクティブ振動絶縁装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：守谷一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-197214
公開番号（公開出願番号）：特開平6-042585
出願日： 1992年07月23日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】空気バネで支持されている制御対象物の変位応答特性を良好にする。【構成】振動センサと、変位センサと、振動信号から得られた加速度信号、速度信号および変位信号により駆動され制御対象物に制御力を注入するアクチュエータとにより振動制御ループを形成すると共に、変位信号および変位信号から得られた変位量信号により駆動され空気バネの空圧を調整する電気空圧アナログ弁により変位制御ループを形成したものである。【効果】制御対象物の振動の制御は振動センサ、変位センサから空気バネの振動制御ループによって行なわれ、変位の制御は変位センサから空気バネの変位制御ループによって行なわれ、ミクロン単位の垂直方向の変位制御を行うことができる。

請求項（抜粋）：

架台に搭載した空気バネにより制御対象物を支持し、前記空気バネを電気空圧アナログ弁を介して空圧源に接続し、前記制御対象物の振動及び(又は)変位を検出し、検出された信号により前記電気空圧アナログ弁を駆動し前記空気バネをアクティブ制御して前記制御対象物の振動を絶縁するアクティブ振動絶縁装置において、前記電気空圧アナログ弁から前記空気バネへの出力配管の流体抵抗を前記電気空圧アナログ弁からの排気配管の流体抵抗より小さくした配管系を構築したことを特徴とするアクティブ振動絶縁装置。

IPC (4件)：

F16F 15/04 , F16F 9/02 , F16F 9/50 , G05D 19/02

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭60-121340
特開平1-210634
特開平3-271460

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