特許
J-GLOBAL ID：200903057774938548
真空封入式圧電アクチュエータおよび該真空封入式圧電アクチュエータを用いた位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-060663
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273383
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 減衰材を設けなくても高速駆動時の振動が発生しにくくする。【構成】 積層型圧電素子11の両端には取付座13が取り付けられている。積層型圧電素子11は、制振合金材料からなる金属缶12で真空封入されている。積層型圧電素子11に電圧を印加することにより、積層型圧電素子11は金属缶12とともに伸縮し、アクチュエータとして作用する。金属缶12は制振合金材料からなるので粘性減衰抵抗は大きく、高速駆動時に振動が発生しても、その振動は小さく、かつ速やかに減衰する。
請求項（抜粋）：
積層型圧電素子を金属缶で真空封入した真空封入式圧電アクチュエータにおいて、前記金属缶として制振材料を用いたことを特徴とする真空封入式圧電アクチュエータ。
IPC (6件)：
H01L 41/083
, B23Q 11/00
, G12B 5/00
, H01L 21/68
, H02N 2/00
, B23Q 5/28
