特許
J-GLOBAL ID：200903057775577760
真空ピンセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-312136
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163672
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】LSI工場のウエハハンドリング用真空ピンセットのホースをなくし、ホースによるトラブルをなくする。【構成】吸着口2と通路4で連通するシリンダ3、ピストン5を有し、シリンダ3内に真空を形成する。ピストン5は引張スプリング8によって、常時引張られる方向に付勢されており、ピストン5がスプリング8の引張力によって移動すると移動跡側のシリンダ内に真空が生ずる。ピストンロッドには、ピストン5を押し下げるハンドル6、押し下げた状態に保つ爪7を多数取り付けこの爪7に係止してピストンの移動を制止する爪13、15をもつレバー12、14からなる制止ラチェット機構が設けられている。この機構は押しボタン11を押すと、交互に爪の係止、係止解除を繰り返し、ラチェットが歩進する。
請求項（抜粋）：
吸着口にウエハを吸着してウエハをハンドリングする真空ピンセット本体にシリンダ及びピストンを取付け、該シリンダの一端を吸着口に連通管を介して結合してなり、前記ピストンには押込みハンドルを設けると共に反吸着口側はピストンを付勢するスプリングを設け、かつ付勢方向へのピストンの移動を制止する交互ラチェット機構を設け、該交互ラチェット機構の爪の係止を交互に解除して前記ピストンを前記付勢方向へ歩進させる手動ボタンを備えたことを特徴とする真空ピンセット。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25B 11/00
, B25J 15/06
