特許

J-GLOBAL ID：200903057780394517

プラズマディスプレイパネルの製造方法

発明者： 森田 達夫 ,  井上 勇
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-201574
公開番号（公開出願番号）：特開2000-036244
出願日： 1998年07月16日
公開日（公表日）： 2000年02月02日
要約：

【要約】【課題】 プラズマディスプレイパネルを真空プロセスを用いることなく、製造装置の稼働率が高く、高スループットで製造する方法を提供する。【解決手段】 透明導電膜を得るための前駆体である有機金属分解材料を溶媒に溶かして溶液とし、ミスト発生器15により溶液のミストを生成する。この溶液のミストはキャリアガス導入管16から吹き込まれたキャリアガスによってミスト輸送管14内に運ばれ、ミスト散布用のヘッド13から基板17上に噴霧される。基板17の温度は、基板17を載置しているヒータ内蔵の支持台18によりMOD溶液の溶媒が蒸発する温度まで予め加熱されている。溶媒はミストが基板17に付着すると同時に蒸発散逸し、金属酸化物前駆体有機金属が膜状になって基板17上に残留する。

請求項（抜粋）：

透明導電膜形成用の金属酸化物前駆体有機金属を有機溶媒に溶解した溶液をミスト状にして基板上に塗布し、塗布された前記金属酸化物前駆体有機金属をパターニングして加熱することにより透明導電膜を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 11/00 ,  H01J 11/02

FI (3件)：

H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K ,  H01J 11/02 B

Fターム (4件)：

5C027AA01 ,  5C027AA05 ,  5C040DD07 ,  5C040DD11