繊維シートを積層した精密ろ過フィルター

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-065094
公開番号（公開出願番号）：特開2000-254456
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】【課題】半導体製造用途に十分な金属イオン捕捉能力と微粒子捕捉能力を合わせ持つ、液体をろ過するための精密ろ過フィルターを提供する。また耐薬品性の優れた精密ろ過フィルターを提供する。【解決手段】少なくとも一層の金属イオン捕捉機能を有する繊維シートと少なくとも一層の微孔性ろ過膜を積層して組込むことを特徴とする精密ろ過フィルター。該微孔性ろ過膜の孔径が0.02μm以上0.2μm以下であり、該繊維シートの陽イオン交換容量が0.2meq/g以上であることが好ましい。繊維シートの基体及び微孔性ろ過膜が、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、あるいはポリフェニレンスルホンのいずれかよりなることが好ましい。

請求項（抜粋）：

少なくとも一層の金属イオン捕捉機能を有する繊維シートと少なくとも一層の微孔性ろ過膜を積層して組込むことを特徴とする精密ろ過フィルター。

IPC (8件)：

B01D 61/18 , B01D 39/14 , B01D 39/16 , B01D 63/14 , B01D 69/12 , B01D 71/68 , B32B 5/24 101 , B32B 7/02

FI (9件)：

B01D 61/18 , B01D 39/14 K , B01D 39/16 A , B01D 39/16 C , B01D 63/14 , B01D 69/12 , B01D 71/68 , B32B 5/24 101 , B32B 7/02

Fターム (63件)：

4D006GA07 , 4D006HA42 , 4D006HA71 , 4D006MA03 , 4D006MA06 , 4D006MA22 , 4D006MA24 , 4D006MA31 , 4D006MB11 , 4D006MB15 , 4D006MC22 , 4D006MC23 , 4D006MC29 , 4D006MC30 , 4D006MC61 , 4D006MC62X , 4D006MC63 , 4D006NA01 , 4D006NA64 , 4D006PA01 , 4D006PB02 , 4D006PB70 , 4D006PC02 , 4D006PC11 , 4D006PC42 , 4D019AA03 , 4D019BA13 , 4D019BB02 , 4D019BB03 , 4D019BB08 , 4D019BB10 , 4D019BC04 , 4D019BD01 , 4D019CA02 , 4D019CB03 , 4D019DA03 , 4F100AH04 , 4F100AK07 , 4F100AK54B , 4F100AK55 , 4F100AK55B , 4F100AK55K , 4F100AL07 , 4F100AR00A , 4F100AR00C , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA06 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100DG01A , 4F100DG01C , 4F100DG15 , 4F100DJ10B , 4F100EJ39 , 4F100EJ82 , 4F100GB56 , 4F100JB01 , 4F100JD01 , 4F100JD14 , 4F100JM02B , 4F100YY00A , 4F100YY00C

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