特許
J-GLOBAL ID:200903057785153526

インクジェットヘッド及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 稲元 富保
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-222444
公開番号(公開出願番号):特開2000-117982
出願日: 1999年08月05日
公開日(公表日): 2000年04月25日
要約:
【要約】【課題】 工程増加を招くことなく、外部回路への接続手段を容易に接続できる外部電極を形成できない。【解決手段】 振動板25と同じ厚さの振動板用外部電極26を振動板25と同一平面であるシリコン基板21上に設け、振動板用外部電極26と複数の個別電極33の個別電極用外部電極34との段差が2μm以内とした。
請求項(抜粋):
インク滴を吐出するノズル孔と、このノズル孔が連通する吐出室と、この吐出室の少なくとも一つの壁面を形成する振動板と、この振動板に対向配置した電極とを有し、前記振動板を電極との間で発生させる静電力によって変形させて前記インク滴を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、振動板用外部電極を前記振動板と同一平面に設けたことを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件):
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
引用特許:
審査官引用 (4件)
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