特許
J-GLOBAL ID：200903057785158234
ペリクル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108499
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281711
出願日： 1992年04月01日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は紫外線、エキシマレーザーの照射でも粘着層の粘着力が低下せず、また使用に際してセパレーターが容易に剥離できるペリクルの提供を目的とするものである。【構成】 本発明の第1発明は、ペリクル枠の一端面にペリクル膜を張設し、他端面にシリコーン系粘着剤層を形成してなるペリクルに関するものであり、この第2発明はその粘着層をフッ素変性シリコーン系離型剤をコーティングしたセパレーターで保護していることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
ペリクル枠の一端面にペリクル膜を張設し、他端面にシリコーン系粘着層を形成してなることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
引用特許：
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