特許
J-GLOBAL ID：200903057786212445
電極、及びその電極を有する表示装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-089364
公開番号（公開出願番号）：特開平11-265653
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】低電界で電子を放出でき、製造が容易な電極を提供する。【解決手段】耐熱性の配線膜13表面に金属系炭化物を付着させ、真空加熱し、多孔質炭素膜を形成して電極14にする。金属系炭化物を真空加熱する際、大気圧下では分解、溶融、又は昇華のいずれかが生じる温度を上限とすると、金属系炭化物は、大気圧下では分解しないのにも拘わらず、真空雰囲気中では分解し、多孔質炭素膜が得られる。その多孔質炭素膜はカーボンチューブやカーボンウィスカーが含まれており、低い電界で電子を放出することができので、低電圧駆動のFED2が得られる。
請求項（抜粋）：
耐熱物質と、前記耐熱物質上に形成された多孔質炭素膜を有する電極であって、前記炭素膜は、前記耐熱物質表面に付着された金属系炭化物が、大気圧下では分解、溶融、又は昇華のいずれかが生じる温度を上限として、真空雰囲気中で加熱されて形成されたことを特徴とする電極。
IPC (7件)：
H01J 1/30
, C23C 14/18
, C23C 14/34
, C23C 20/06
, C23C 24/08
, H01J 9/02
, H01J 31/12
H01J 1/30 F
, C23C 14/18
, C23C 14/34 A
, C23C 20/06
, C23C 24/08 C
, H01J 9/02 B
, H01J 31/12 C
