特許
J-GLOBAL ID：200903057797006758

露光装置

発明者：
藤井 敏昭

藤井 敏昭 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (1件)： 吉嶺 桂 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-135934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-317343
出願日： 1998年05月01日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：
【要約】【課題】 光学材料の曇りによる照度低下や、パターンのズレ等の露光時の障害を無くした露光装置を提供する。【解決手段】 内部に空調装置9と、紫外域の光を放出する光源2を有する露光装置1において、前記紫外光が照射されている少なくとも1部に光触媒13〜15を設置することとしたものであり、前記露光装置内の空気流路には、吸着材、イオン交換繊維等のイオン性物質除去材11を設置することができる。
請求項（抜粋）：
内部に空調装置と、紫外域の光を放出する光源を有する露光装置において、前記紫外光が照射されている少なくとも1部に光触媒を設置したことを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2件)：
H01L 21/30 503 G ,  G03F 7/20 521
引用特許：
審査官引用 (9件)
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