特許
J-GLOBAL ID：200903057807563804
孤立した光学ゾーンを有する改良式放射加熱源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-057654
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130678
出願日： 1994年03月28日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハ表面の均一加熱を可能にする安価なバッフルを有する半導体ウエハランプ加熱器を提供する。【構成】 放射ランプ加熱器における薄い反射円筒状バッフル20は、中心部分並びに中間リング及び外側リングの周囲に配置された複数の加熱用ガラス球2,4,6の下方で、かつ石英窓12の上方の空間に設けられている。このバッフル20の直径は、バッフル20が中間リングのガラス球4及び外側リングのガラス球6の間の環状空間内に取り付けられるように設定されている。
請求項（抜粋）：
光源とバッフルとを具備し、前記光源の所定部分から平面の所定部分に向けられる光が前記バッフルによって阻止されるとともに、前記バッフルによって阻止されない前記光源からの光が前記平面の前記所定部分に向けられるように、前記バッフルが形成されているとともに前記光源に対して位置決めされていることを特徴とする半導体ウエハランプ加熱器。
IPC (2件)：
引用文献：
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