特許

J-GLOBAL ID：200903057812444538

蒸着方法および蒸着装置

発明者： 高木 悟 ,  三橋 善之 ,  矢上 輝行 ,  室伏 光寿
出願人/特許権者： エイ・ジー・テクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-129713
公開番号（公開出願番号）：特開平5-295526
出願日： 1992年04月22日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：

【要約】【構成】蒸着原料3を保持する原料ハース4を、薄膜を形成する基体6とほぼ垂直な回転軸の周りに回転させるとともに、プラズマガン1によって形成されたプラズマ流9を、蒸着原料のハース回転軸からずれた位置に導き蒸発させる。好ましくは、回転軸と垂直な断面が円形の原料ハースを用いる。【効果】成膜速度や薄膜特性の変動なく成膜できる。また、蒸着原料の有効利用と原料の供給が容易に行える。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生することによりプラズマ流を形成可能なプラズマガンを用いて蒸着原料を加熱し、プラズマ流に関して蒸着原料と反対側の基体上に薄膜を形成する蒸着方法であって、蒸着原料を保持する原料ハースを基体とほぼ垂直な回転軸の周りに回転させるとともに、蒸着原料の原料ハースの回転軸からずれた位置にプラズマ流を導くことを特徴とする蒸着方法。