特許
J-GLOBAL ID：200903057812575292
ロードロックチャンバーへのガス導入装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-248131
公開番号（公開出願番号）：特開2001-070782
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：
【要約】【課題】 ロードロックチャンバー内の処理基板を効率よく冷却できるガス流を形成するガス導入装置を提供する。【解決手段】ガス導入装置は,処理基板が搬入,搬出されるロードロックチャンバーへのガス導入装置であって,ガス源に連結され,ロードロックチャンバー内に先端が至るガス導入管と,ガス導入管の先端に連結され,搬入される処理基板の周囲の近傍で,その周囲に対向して位置する,伸長したガス噴き出し部と,から成る。ガス導入装置によりガスがロードロックチャンバーに導入されると,ロードロックチャンバーの内部圧力が真空から大気圧へ戻ることができるとともに,さらにガスが流されると,処理基板をより早く冷却することができる。
請求項（抜粋）：
処理基板が搬入,搬出されるロードロックチャンバーへのガス導入装置であって,ガス源に連結され,前記ロードロックチャンバー内に,先端が至るガス導入管と,前記ガス導入管の先端に連結され,搬入される処理基板の周囲の近傍で,その周囲に対向して位置する,伸長したガス噴き出し部と,から成るガス導入装置。
引用特許：
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