特許

J-GLOBAL ID：200903057813818652

プラズマおよび表面技術の装置に対する電源用の回路装置

発明者： ギュンテル・マルク
出願人/特許権者： マグトロン・マグネート・エレクトロニッシェ・ゲレーテ・ゲゼルシヤフト・ミト・ベシユレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-202683
公開番号（公開出願番号）：特開平6-113561
出願日： 1992年07月29日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：

【要約】【目的】 高周波電源を高出力で使用する場合、低価格でしかも人に対して安全となる、プラズマ技術や表面技術の装置や設備の電源に対する回路装置を提供する。【構成】 2極の電流を供給するため、制御可能な整流回路部品の正と負の出力端が MOSFET ブリッジ回路I,I′,II, II′のブリッジ入力端に接続し、 MOSFET ブリッジ回路のブリッジ出力端が MOSFET を制御する電流検出回路9または10と、プラズマ装置の負荷に対する出力端+,-とに接続している。

請求項（抜粋）：

プラズマ技術や表面技術の装置や設備に対する電源装置の回路装置において、バイポーラ電流供給のため、制御可能な整流回路部品の正と負の出力端が MOSFET ブリッジ回路のブリッジ入力端に接続し、このブリッジ回路のブリッジ出力端が MOSFET を制御する電流検出回路と、プラズマ装置の負荷用出力端に接続していることを特徴とする回路装置。

IPC (4件)：

H02M 7/537 ,  H01L 21/31 ,  H02M 7/48 ,  H02M 7/5387

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-040762
  
• 特開平3-167795
  
• 特開平3-169266
  
• 特許第4520437号