特許
J-GLOBAL ID:200903057814086744

角速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-332983
公開番号(公開出願番号):特開平9-170926
出願日: 1995年12月21日
公開日(公表日): 1997年06月30日
要約:
【要約】【課題】 各電気機器に使用される角速度センサにおいて、作りやすく、温度特性にも優れ、小型、低コスト、高性能化を実現することを目的とする。【解決手段】 圧電体に少なくとも3つの切り込みを設けて少なくとも2本のアームを形成し、一方のアームに駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ電極を形成してなる音叉振動子を局在させた振動子と、前記振動子を保持する保持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出する回路部と、前記振動子と前記回路部を接続する接続手段とを備えることによって、振動子自体を簡易に作ることができ、駆動効率も良く、温度特性にも優れ、角速度センサ全体の小型、低コスト、高性能化を実現することができる。
請求項(抜粋):
圧電体に少なくとも3つの切り込みを設けて少なくとも2本のアームを形成し、一方のアームに駆動電極を形成し、他方のアームにモニタ電極を形成してなる音叉振動子を局在させた振動子と、前記振動子を保持する保持板と、前記振動子を駆動し、角速度を検出する回路部と、前記振動子と前記回路部を接続する接続手段とを備えた角速度センサ。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04

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