三軸圧電加速度センサー

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田信道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-344261
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174782
出願日： 1993年12月17日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】製造コストが低く、より信頼性の高い三軸圧電加速度センサーの提供を目的とする。【構成】 XYZ三次元座標系におけるXY平面にそれぞれ平行な上面及び下面を有する板状の圧電素子1と、該圧電素子1の上面に設けられた上部電極2と、該上部電極2全てに対向するように、圧電素子1の下面に接合された一枚の導電性を有する起歪体4と、前記圧電素子1の中央部が位置する起歪体4の下面に固着された重錘体5と、前記圧電素子1の周囲で前記起歪体4を支持固定する起歪体受け6とを備え、前記上部電極2上に、XYZ各軸成分ごとに出力を引き出す回路パターン8が形成された三軸圧電加速度センサー。前記圧電素子1と起歪体4との間に下部電極3を介在しても良い。

請求項（抜粋）：

XYZ三次元座標系における加速度のXYZ各軸方向成分を検出する加速度センサーであって、前記座標系におけるXY平面にそれぞれ平行な上面及び下面を有する板状の圧電素子(1)と、該圧電素子(1)の上面に設けられた上部電極(2)と、該上部電極(2)全てに対向するように、圧電素子(1)の下面に接合された一枚の導電性を有する起歪体(4)と、前記圧電素子(1)の中央部が位置する起歪体(4)の下面に固着された重錘体(5)と、前記圧電素子(1)の周囲で起歪体(4)を支持固定する起歪体受け(6)とを備え、上部電極(2)は、X軸上に配列されたX軸成分電極と、Y軸上に配列されたY軸成分電極と、X軸及びY軸に対し原点(O)を軸として所定角度傾斜したV軸及びW軸上に直線的に配列されたZ軸成分電極からなり、前記圧電素子(1)は、前記上部電極(2)の下方に位置する部分個々に対して、XY平面に沿った伸び力が作用したときに、上面に第1極性の電荷が、下面に第2極性の電荷が、それぞれ発生し、XY平面に沿った縮み力が作用したときに、上面に第2極性の電荷が、下面に第1極性の電荷が、それぞれ発生する第1分極処理、或いはXY平面に沿った伸び力が作用したときに、上面に第2極性の電荷が、下面に第1極性の電荷がそれぞれ発生し、XY平面に沿った縮み力が作用したときに、上面に第1極性の電荷が、下面に第2極性の電荷がそれぞれ発生する第2分極処理のいずれか一方を施した分極部(7)が形成され、X軸成分及びY軸成分を検出する部分では、第1分極処理を施した第1分極部(7a)と第2分極処理を施した第2分極部(7b)とが、XY各軸に沿って一端から他端まで交互に形成され、Z軸成分を検出する部分では、第1分極部(7a)と、第2分極部(7b)とが、原点(O)から放射方向へ交互に形成され、前記上部電極(2)及び圧電素子(1)上に、XYZ各軸成分ごとに出力を引き出す回路パターン(8)が形成されていることを特徴とする三軸圧電加速度センサー。

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