特許

J-GLOBAL ID：200903057823494910

高温サセプタ

発明者： チャン アイフア ,  ワング ルウェイピング ,  シ ミング
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186616
公開番号（公開出願番号）：特開平10-074705
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】 プロセス中、高温クリーニングサイクル中、又は腐食性CVDの適用中の、化学的腐食及び熱サイクルに対する耐性を改善したサセプタを提供する。【解決手段】 サセプタ30が、リップ34によって環囲されている表面32、傾斜面が形成された内側面36、上面38、外側面42、上面38と外側面42との間の第1の丸められた縁部40、表面32と内側面36との間の第2の丸められた縁部39、及び内側面36と上面38との間の第3の丸められた縁部37を備える。サセプタ30は窒化アルミニウムの被膜によって覆われたグラファイト本体を備える。

請求項（抜粋）：

一定の領域を有する平坦な基板載置面、及び、前記基板載置面を環囲して前記領域を画成し、前記基板載置面より一定の高さを有し、内側面と前記基板載置面との間に第1の丸みの付けられた縁部を有し、外側面と、上面と、前記該側面を前記上面に繋いでいる第2の丸みの付けられた縁部とを有するリップ、を備える装置。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 B ,  H01L 21/68 N