特許

J-GLOBAL ID：200903057838458057

磁気記録媒体、その製造方法、スパッタリングターゲット、および磁気記録再生装置

発明者： 清水 謙治 ,  酒井 浩志
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 柿沼 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-094153
公開番号（公開出願番号）：特開2001-283427
出願日： 2000年03月30日
公開日（公表日）： 2001年10月12日
要約：

【要約】【課題】SNR特性をより向上させた垂直磁気記録媒体を得ること。【解決手段】基板と、その上に磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂直磁性膜とが設けられた磁気記録媒体において、基板と垂直磁性膜の間に、第1下地膜とその上に第2下地膜が設けられ、第1下地膜はカーボンを含む材料からなり、第2下地膜はCoおよびZrを含む材料からなるものであることを特徴とする磁気記録媒体、その製造方法、その製造に用いるターゲット材料、および該媒体を用いた磁気記録再生装置。

請求項（抜粋）：

基板と、その上に磁化容易軸が基板に対し垂直に配向した垂直磁性膜とが設けられた磁気記録媒体において、基板と垂直磁性膜の間に、第1下地膜とその上に第2下地膜が設けられ、第1下地膜はカーボンを含む材料からなり、第2下地膜はCoおよびZrを含む材料からなるものであることを特徴とする磁気記録媒体。

IPC (4件)：

G11B 5/738 ,  C23C 14/34 ,  G11B 5/64 ,  G11B 5/851

FI (4件)：

G11B 5/738 ,  C23C 14/34 A ,  G11B 5/64 ,  G11B 5/851

Fターム (27件)：

4K029AA02 ,  4K029BA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D006BB02 ,  5D006BB07 ,  5D006CA01 ,  5D006CA05 ,  5D006CA06 ,  5D006DA03 ,  5D006EA03 ,  5D006FA09 ,  5D112AA03 ,  5D112AA05 ,  5D112AA11 ,  5D112AA24 ,  5D112BB05 ,  5D112BD02 ,  5D112BD03 ,  5D112BD04 ,  5D112FA04 ,  5D112FB04 ,  5D112FB06