特許

J-GLOBAL ID：200903057840864771

レーザビームのエネルギー密度分布測定装置

発明者： 青木 彦治
出願人/特許権者： ブラザー工業株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-071391
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236489
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 レーザアブレーション加工の精度向上に寄与できるような、レーザビームの有効幅全体にわたって正確なエネルギー密度分布測定装置を提供する。【解決手段】 反射ミラー30による反射光の光路上に上流側から順にレーザビーム2の反射を防止しながらレーザビーム2を透過させるレーザビーム透過手段14,レーザビームの光量に応じた電荷量を素子単位で出力するCCDカメラ10の光路に対して垂直方向の移動手段11,CCDカメラが検知するレーザビームのパルス数を均一化する役目を果たすビデオフリーザ12及び検知した電荷量を基にしてレーザビームの光量分布を測定するコンピュータ13が設けられている。CCDカメラが所定のパルス数を検知したとき、コンピュータからの指令でデータ入力はカットされると共に、CCDカメラ10をカメラ長だけ移動できるようにした。

請求項（抜粋）：

レーザビームが照射されたときに、該レーザビームの光量に応じた電荷量を素子単位で出力する電荷結合素子手段と、前記電荷量を基にしてレーザビームの光量分布を測定する光量分布測定手段と、前記レーザビームを前記電荷結合素子手段に照射する際のレーザビームの軌跡中に配設され、該レーザビームの反射を防止しながらレーザビームを透過させるレーザビーム透過手段とを有していることを特徴とするレーザビームのエネルギー密度分布測定装置。

IPC (3件)：

G01J 1/42 ,  B23K 26/00 ,  G01M 11/00

FI (3件)：

G01J 1/42 D ,  B23K 26/00 M ,  G01M 11/00 T