特許
J-GLOBAL ID：200903057841360017
アライメント装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-219089
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013287
出願日： 1992年08月18日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】露光すべきチップの大きさが変化したとしても常に高い精度のもとでTTR方式のアライメントができるアライメント装置の提供にある。【構成】レチクル上のパターンを投影光学系を介して基板上に転写する際に、レチクル上に形成された第1回折格子に対し所定の2方向からコヒーレントな第1アライメント光を照明すると共に基板上に形成された第2回折格子に対し所定の2方向からコヒーレントな第2アライメント光を照明するアライメント装置の照明光学系内に、コヒーレントな2つの光を生成する2光束生成手段と、2光束生成手段からの2つの光束をそれぞれ分割して第1及び第2アライメント光を生成する光分割手段と、第1及び第2アライメント光との相対的な間隔を変化させる光束間隔可変手段とを設けた。
請求項（抜粋）：
レチクル上に形成されたパターンを投影光学系を介して基板上に転写する際に、前記レチクル上に形成された第1回折格子に対し所定の2方向からコヒーレントな第1アライメント光を照明すると共に前記基板上に形成された第2回折格子に対し所定の2方向からコヒーレントな第2アライメント光を照明する照明光学系と、前記第1及び第2回折格子からの各回折光を検出する検出光学系とを有し、前記レチクルと前記基板との相対的な位置合わせを行うアライメント装置において、前記照明光学系は、コヒーレントな2つの光を生成する2光束生成手段と、該2光束生成手段からの2つの光束をそれぞれ分割して前記第1及び第2アライメント光を生成する光分割手段と、前記第1及び第2アライメント光との相対的な間隔を変化させる光束間隔可変手段とを有し、該光束間隔可変手段によって前記第1及び第2アライメント光との相対的な間隔を変化させることにより、前記第1アライメント光が前記第1回折格子を所定の2方向から照明する位置と前記第2アライメント光が前記第2回折格子を所定の2方向から照明する位置との少なくとも一方を変更することを特徴とする位置検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 311 M
, H01L 21/30 301 M
