特許
J-GLOBAL ID：200903057850920920
真空排気方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 聖孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-196824
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029962
出願日： 1993年07月14日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】[目的]搬送室等のチャンバから有害なガスを効果的に排除する。[構成]搬送室12は、プロセスチャンバ10とカセットチャンバ14の間に設置され、ゲートバルブ16,18を介して両チャンバ14,10と連結される。真空排気装置は、搬送室12の中から気体を非選択的に室外へ排気する第1の排気部22と、搬送室12内に所望の調圧ガスを供給する調圧ガス供給部30と、該調圧ガスの凝固点よりも高い温度で搬送室12内の気体分子を選択的に凝結排気する第2の排気部40と、第1および第2の排気部22,40ならびに調圧ガス供給部30の動作を制御する制御部46とから構成される。
請求項（抜粋）：
被処理体を保管もしくは移送し、または処理するための所定のチャンバの室内を真空に排気する方法において、前記チャンバ内に所望のガスを供給しながら、前記チャンバの中から気体を非選択的に外へ排気し、かつ前記所望のガスの凝固点よりも高い温度で前記チャンバ内の気体分子を選択的に凝結排気することを特徴とする真空排気方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, C23C 14/22
, H01L 21/205
