特許

J-GLOBAL ID：200903057853564157

電子顕微鏡

発明者： 富澤 淳一郎 ,  伊東 祐博
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-029513
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233058
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】走査電子顕微鏡による粒子抽出方法において、電子ビームの変動等で反射電子の輝度レベルが変動した場合に、しきい値と輝度の関係が変化するため、正確な粒子抽出が行えない場合があった。【解決手段】本発明では、二値化処理のためのしきい値を、反射電子画像の輝度レベルの変動に合わせて連動させて設定することで、輝度レベルとしきい値の関係を一定に保つことにより、正確な粒子抽出を行うことを可能にする。

請求項（抜粋）：

集束された電子ビームを試料上に走査するための偏向手段と、試料から発生する反射電子等の信号を検出する手段と、試料を移動する手段と、前記により検出された画像を記憶する画像メモリと、前記画像メモリに記憶された画像を処理する手段と、画像表示手段と、各々を制御する手段を備える走査電子顕微鏡において、画像から粒子抽出を行う際、二値化のためのしきい値を電子ビームの変動に連動して設定することにより、長時間、試料の広エリアを高精度に粒子抽出することを特徴とする電子顕微鏡。