特許
J-GLOBAL ID：200903057857450199
走査電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-312199
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182626
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】本発明の目的は反射電子像を観察しながら大形試料を傾斜させたり、X線検出を同時に行なうことにある。【構成】2個あるいは4個の反射電子検出器3および3 ́を対物レンズ1の下部磁極片の両側それも試料傾斜軸4と同一方向かつ対物レンズ1下面より上部に配置する構成で、その反射電子検出器3および3 ́の固定ホルダにはX線検出用の穴もしくは切り欠きが設けられている構成。
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡等の電子線を集束させるための対物レンズの外部であって、試料傾斜軸の軸方向の対物レンズ下面より上部に反射電子検出器を配置したことを特徴とした走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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