特許
J-GLOBAL ID:200903057859581983
偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
樺山 亨
, 本多 章悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-188117
公開番号(公開出願番号):特開2005-024721
出願日: 2003年06月30日
公開日(公表日): 2005年01月27日
要約:
【課題】動的に発生するミラー面のうねりを抑え、平面性を確保することで、被走査面において良好な結像性能が得られるようにした偏向ミラーを提供する。【解決手段】本発明は、光ビームを偏向する可動ミラー201と、可動ミラーと連結され回転軸心を規定するねじり梁108と、可動ミラーを揺動する回転力を発生するミラー揺動手段とを有する偏向ミラーにおいて、ミラー揺動手段を可動ミラーと回転軸方向に隣接して備え、可動ミラーの回転軸心からの距離をr’、可動ミラー幅(両翼)をAとすると、r’≦A/4なる部位に回転力を発生するようにした。これによりミラー揺動手段の実装に伴う質量増加があっても、可動ミラーにかかる慣性モーメントのピーク位置をねじり力が加わる回転軸心の近傍に近づけることができるので、可動ミラーをせん断する応力を最小限に抑えて面変形を低減でき、偏向された光ビームの結像性能の劣化を防止できる。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
光ビームを偏向する可動ミラーと、該可動ミラーと連結され回転軸心を規定するねじり梁と、上記可動ミラーを揺動する回転力を発生するミラー揺動手段とを有する偏向ミラーにおいて、
上記ミラー揺動手段を、上記可動ミラーと回転軸方向に隣接して備え、可動ミラーの回転軸心からの距離をr’、可動ミラー幅(両翼)をAとすると、
r’≦A/4
なる部位に回転力を発生するようにしたことを特徴とする偏向ミラー。
IPC (4件):
G02B26/10
, B81B3/00
, H04N1/036
, H04N1/113
FI (5件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 B
, B81B3/00
, H04N1/036 Z
, H04N1/04 104Z
Fターム (29件):
2H045AB02
, 2H045AB10
, 2H045AB22
, 2H045AB38
, 2H045AB43
, 2H045AB53
, 2H045AB73
, 2H045BA22
, 2H045BA32
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA02
, 5C051DB02
, 5C051DB22
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC04
, 5C051DC07
, 5C051DE09
, 5C051DE26
, 5C051FA01
, 5C072AA03
, 5C072BA01
, 5C072BA06
, 5C072HA02
, 5C072HA14
, 5C072HB15
, 5C072XA01
, 5C072XA05
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